栅-源短路时的漏极电流检测项目详解

一、静态特性检测

1. • 目的：测量栅-源短路时漏极与源极间的自然导通电流（典型值：增强型MOSFET接近零，耗尽型器件较高）。
   • 测试条件：���=0VGS​=0，施加固定���VDS​（如器件耐压的50%）。
   • 判据：若����IDSS​显著偏离规格书（如增强型MOSFET >1μA），可能表明栅氧击穿或寄生导通。
2. • 方法：通过微小���VGS​扫描（如±1V），观察漏极电流是否随栅压变化。
   • 意义：栅-源短路时���VTH​应无法正常表征，若检测到明确阈值，说明短路为局部失效。

二、动态特性检测

1. • 测试电路：搭建双脉冲测试平台，强制栅-源短路（通过跳线或模拟故障）。
   • 关键参数：
     • 开通/关断延迟时间（��td​）：短路时延迟可能异常缩短或消失。
     • 电流上升率（��/��di/dt）：若��ID​无控制地陡升，表明栅极完全失控。
2. • 适用场景：当MOSFET体二极管因短路被迫导通时，检测反向恢复电荷（���Qrr​）。
   • 异常标志：���Qrr​异常增大可能反映载流子注入失控。

三、可靠性及失效分析项目

1. • 条件：将器件加热至125°C，施加额定���VDS​，监测��ID​随时间变化。
   • 失效机制：温度加速下，栅氧缺陷或金属迁移可能导致漏电流指数级上升。
2. • 方法：在栅-源短路状态下，施加高压���VDS​直至器件失效，记录失效时间与能量。
   • 数据应用：验证器件抗雪崩击穿能力，优化保护电路设计。

四、进阶检测手段

1. • 步骤：解剖失效器件，定位栅极金属熔融或扩散路径，关联电学特性与物理损伤。
2. • 技术：利用红外热像仪捕捉短路点的局部温升，识别热点分布（分辨率需≤5μm）。

五、测试系统配置

• 核心设备：
  • 高精度源测量单元（SMU，如Keysight B2900A）
  • 动态参数测试仪（如Tektronix IV-CDV系统）
  • 高温探针台（用于温度依赖性测试）
• 安全设计：串联熔断器或电子负载限流，防止连锁损坏。

六、数据分析与标准参考

• 数据对比：将实测值与JESD22-A108（静态测试）、JESD24-7（动态测试）等标准比对。
• 典型失效阈值：
  • ����>10��IDSS​>10mA（低压器件）或����>1��IDSS​>1mA（高压器件）视为严重异常。
  • 开关波形中出现持续振荡：提示寄生参数激增或栅极电荷泄露。

七、常见问题与解决方案

• 问题1：测试中漏极电流漂移 对策：检查测试夹具接触电阻，采用开尔文连接法消除误差。
• 问题2：高频噪声干扰动态测试 对策：使用差分探头并增加RC低通滤波（截止频率≥10倍信号带宽）。