- 纯氮（Grade 3）
- 纯度：≥99.9%
- 执行标准：GB/T 8979-2008《纯氮》
- 高纯氮（Grade 4/5）
- 纯度：≥99.999%
- 执行标准：GB/T 8980-2008《高纯氮》
- 超纯氮（Grade 6+）
- 纯度：≥99.9999%
- 符合SEMI国际标准
- 纯度测定
- 差减法：总杂质含量≤0.1%（纯氮）
- 直接测定法：用于高纯度气体（>99.99%）
- 氧含量检测
- 电化学法：检测限0.1ppm
- 激光光谱法：可达ppb级
- 水含量（露点）
- 电容式露点仪：-80℃~+20℃
- 冷镜式露点仪：精度±0.1℃
- 纯氮关键指标：
- 总烃含量（≤0.5ppm）
- 二氧化碳（≤10ppm）
- 颗粒物粒径（≤0.1μm）
- 高纯氮扩展检测：
- 特定杂质（CO、CH4）≤0.1ppm
- 金属离子总量≤10ppb
- 放射性核素检测
- 超纯氮特殊要求：
- 痕量硫化物（H2S、SO2）≤5ppt
- 重金属（Fe、Cu、Cr）≤0.1ppb
- 亚微米颗粒（≥0.01μm计数）
- 气相色谱-氦离子化检测器（GC-PDHID）
- 检测限达ppb级
- 可同时测定H2、O2、CO等10种杂质
- 电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）
- 金属元素检测下限0.01ppb
- 适用于半导体级氮气检测
- 质子转移反应质谱（PTR-MS）
- 挥发性有机物检测灵敏度0.1ppt
- 激光粒子计数器
- 0.01μm颗粒检测能力
- 符合ISO 14644-1洁净度标准
- 采样系统处理
- 内壁钝化不锈钢管路
- 前置膜式过滤器（0.01μm）
- 环境干扰控制
- 正压取样室（ISO 5级）
- 在线脱氧脱水预处理
- 数据可靠性保障
- 三重四级杆质谱验证
- NIST标准气体定期校准
- 电子行业（超纯氮）：
- 钠、钾离子≤0.05ppb
- 有机硅氧烷≤1ppt
- 食品级氮气：
- 微生物限度≤1CFU/m³
- 油分含量≤0.01mg/m³
- 医疗用气：
- 一氧化氮≤0.1ppm
- 环氧乙烷残留检测
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