X射线光电子能谱(XPS-EDS)
厂家: Ulvac-PhI
型号:PHI 5000 VersarProbe II
技术指标
发射源:Al/Mg双阳极
较小分辨率:0.48 eV
取样深度:3nm
较大真空压力:主分析室6.7×10-8Pa或更小
主要功能
X射线光电子能谱仪主要用于元素的定性分析,固体材料表面组成分析,材料化学状态分析,元素成分的深度分析 样品的原位处理,高分子材料的表面和界面研究,化合物的结构分析 ,还可以对材料表面的不均匀腐蚀,缺陷等进行微区差异性分析,确定缺陷的成分,为选材和判断失效提供帮助。


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