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X射线光电子能谱（XPS-EDS）

发布时间：2025-05-29 08:22:04- 点击数：1458 - 关键词：X射线光电子能谱（XPS-EDS）

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X射线光电子能谱(XPS-EDS)

厂家： Ulvac-PhI

型号：PHI 5000 VersarProbe II

技术指标

发射源：Al/Mg双阳极

较小分辨率：0.48 eV

取样深度：3nm

较大真空压力：主分析室6.7×10-8Pa或更小

主要功能

X射线光电子能谱仪主要用于元素的定性分析，固体材料表面组成分析，材料化学状态分析，元素成分的深度分析样品的原位处理，高分子材料的表面和界面研究，化合物的结构分析，还可以对材料表面的不均匀腐蚀，缺陷等进行微区差异性分析，确定缺陷的成分，为选材和判断失效提供帮助。

X射线光电子能谱（XPS-EDS）

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