X射线光电子能谱（XPS-EDS）
发布时间：2025-09-18 00:00:00 点击数：2025-09-18 00:00:00 - 关键词：X射线光电子能谱（XPS-EDS）
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厂家： Ulvac-PhI
型号：PHI 5000 VersarProbe II
技术指标
发射源：Al/Mg双阳极
较小分辨率：0.48 eV
取样深度：3nm
较大真空压力：主分析室6.7×10-8Pa或更小
主要功能
X射线光电子能谱仪主要用于元素的定性分析，固体材料表面组成分析，材料化学状态分析，元素成分的深度分析 样品的原位处理，高分子材料的表面和界面研究，化合物的结构分析 ，还可以对材料表面的不均匀腐蚀，缺陷等进行微区差异性分析，确定缺陷的成分，为选材和判断失效提供帮助。
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