- 基础时序检测 1.1 读周期时序验证
- 地址建立时间（tAS）：地址线稳定到片选/读信号有效的时间裕度
- 数据有效窗口（tDV）：检测数据总线从高阻态到稳定输出的时间特征
- 保持时间余量（tDH）：验证读信号失效后数据保持的可靠性
- 地址保持时间（tAH）：写脉冲结束后地址线保持稳定的最小时间
- 数据建立时间（tDS）：验证数据信号提前于写信号建立的时间余量
- 写恢复时间（tWR）：两次写操作之间的最小间隔检测
- 高级时序检测 2.1 突发模式时序
- 首字延迟（tCL）：检测连续读操作中首个数据的输出延迟
- 突发周期（tBURST）：验证后续数据元素的稳定输出间隔
- 预充电时间（tRP）：行地址切换时的时序裕度检测
- Bank激活时间（tRCD）：行选通到列选通的最小间隔
- Bank切换延迟（tRRD）：不同bank操作间的最小时间间隔
- 自动刷新周期（tRFC）：刷新操作对存取时序的影响测试
- 环境参数测试 3.1 电压容限测试
- VDD±10%波动下的存取时间漂移
- 供电电压斜坡过程中的时序失效临界点
- 电源噪声注入测试（50-200MHz纹波影响）
- 建立-25℃~85℃温箱环境下的时序参数漂移
- 热冲击测试（ΔT≥50℃/min）后的时序稳定性
- 结温与存取时间的线性/非线性关系建模
- 信号完整性检测 4.1 传输线效应分析
- 地址线skew控制在±50ps内的时序影响
- 数据总线串扰导致的建立时间劣化
- 阻抗失配引起的信号振铃效应检测
- 建立时间余量扫描（0.1tCK步进）
- 保持时间边界探测（采用shmoo图分析法）
- 时钟抖动容忍度测试（注入50-200ps随机抖动）
- 仪器配置体系
- 高速数字示波器（≥4GHz带宽，20GS/s采样）
- 精密时域反射计（TDR分辨率≤10ps）
- 可编程电源（1mV/1mA调节精度）
- 自动化测试平台（支持Python/Matlab控制）
- 关键测试技术 2.1 眼图分析法
- 建立数据有效窗口的三维概率分布模型
- 测量数据眼图的水平/垂直开启度
- 抖动成分分离（DJ/RJ分解）
- 使用JTAG接口进行DFT测试
- 扫描链延迟特征分析
- 故障覆盖率统计（要求≥95%）
- 数据处理方法
- 应用3σ准则剔除异常数据
- 时序参数的温度补偿算法
- 基于机器学习的时序失效预测
| 测试项目 | 标称值 | 实测值 | 偏差 |
|---|---|---|---|
| tCL (ns) | 13.75 | 13.82 | +0.5% |
| tRCD (ns) | 13.75 | 14.1 | +2.5% |
| 高温tAC (ns) | 14.5 | 15.2 | +4.8% |
| 低压裕度 | 10% | 8.7% | -13% |
- 3D堆叠存储器的TSV延迟检测
- 近存计算架构的存内操作时序
- 存算一体芯片的混合时序验证
- 光子存储器的光-电转换延迟测试
- 测试夹具设计规范
- 阻抗控制（±5%偏差）
- 寄生电感≤2nH/pin
- 信号走线长度匹配±50μm
- 误差控制方法
- 探头负载校准（补偿1pF负载影响）
- 去嵌入技术消除夹具延迟
- 时基校准（使用标准延迟线）
- 失效分析流程
- 建立故障模式库（含32种典型时序故障）
- 应用故障树分析法（FTA）
- 进行波形参数相关性分析
材料实验室
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