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GB/T 6624-2009硅抛光片表面质量目测检验方法
GB/T 6624-2009硅抛光片表面质量目测检验方法,本标准规定了在一定光照条件下,用目测检验单晶抛光片(以下简称抛光片)表面质量的方法。本标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考本方法进行。
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GB/T 6620-2009硅片翘曲度非接触式测试方法
GB/T 6620-2009硅片翘曲度非接触式测试方法,本标准规定了硅单晶切割片、研磨片、抛光片(以下简称硅片)翘曲度的非接触式测试方法。本标准适用于测量直径大于50mm,厚度大于180μm 的圆形硅片。本标准也适用于测量其他半导体圆片的翘曲度。本测试方法的目的是用于来料验收或过程控制。本测试方法也适用于监视器件加工过程中硅片翘曲度的热化学效应。
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GB/T 11072-2009锑化铟多晶、单晶及切割片
GB/T 11072-2009锑化铟多晶、单晶及切割片,本标准规定了锑化铟多晶、单晶及单晶切割片的产品分类、技术要求和试验方法等。本标准适用于区熔法制备的锑化铟多晶及直拉法制备的供制作红外探测器和磁敏元件等用的锑化铟多晶、单晶及切割片。
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GB/T 11718-2009中密度纤维板
GB/T 11718-2009中密度纤维板,本标准规定了中密度纤维板的术语、定义和缩略语、分类和附加分类、要求、测量和试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。
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GB/T 12467.3-2009金属材料熔焊质量要求 第3部分:一般质量要求
GB/T 12467.3-2009金属材料熔焊质量要求 第3部分:一般质量要求,本部分规定了金属材料熔焊的一般质量要求。本部分适用于车间及现场的焊接。本标准适用于干法生产的中密度纤维板。
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GB/T 12718-2009矿用高强度圆环链
GB/T 12718-2009矿用高强度圆环链,本标准规定了矿用高强度圆环链(以下简称圆环链)的术语和定义、型式尺寸、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于煤矿用刮板输送机、刮板转载机、悬臂式掘进机、刨煤机、滚筒采煤机及其他机械牵引链,不适用于作起重链和悬挂链。
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GB/T 13387-2009硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法
GB/T 13387-2009硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法,本标准用于标称圆形晶片边缘平直部分长度小于等于65mm 的电学材料。本标准仅对硅片精度进行确认,预期精度不因材料而改变。本标准适用于仲裁测量,当规定的限度要求高于用尺子和肉眼检测能够获得的精度时,本标准也可用于常规验收测量。
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GB/T 14139-2009硅外延片
GB/T 14139-2009硅外延片,本标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装运输、贮存等。本标准适用于在N 型硅抛光片衬底上生长的n型外延层(N/N+ )和在p型硅抛光片衬底上生长的P型外延层(P/P+ )的同质硅外延片。产品主要用于制作硅半导体器件。其他类型的硅外延片可参照使用。
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