GB/T 6624-2009硅抛光片表面质量目测检验方法

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标准编号：GB/T 6624-2009硅抛光片表面质量目测检验方法

标准状态：现行

标准简介：本标准规定了在一定光照条件下，用目测检验单晶抛光片(以下简称抛光片)表面质量的方法。本标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考本方法进行。

英文名称： Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection

替代情况： 替代GB/T 6624-1995

中标分类： 冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合

ICS分类： 电气工程>>29.045半导体材料

发布部门： 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会

发布日期： 2009-10-30

实施日期： 2010-06-01

首发日期： 1986-07-26

提出单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会