纯氮、高纯氮、超纯氮检测

实验室拥有众多大型仪器及各类分析检测设备，研究所长期与各大企业、高校和科研院所保持合作伙伴关系，始终以科学研究为首任，以客户为中心，不断提高自身综合检测能力和水平，致力于成为全国科学材料研发领域服务平台。

1. 纯氮（Grade 3）

• 纯度：≥99.9%
• 执行标准：GB/T 8979-2008《纯氮》

2. 高纯氮（Grade 4/5）

• 纯度：≥99.999%
• 执行标准：GB/T 8980-2008《高纯氮》

3. 超纯氮（Grade 6+）

• 纯度：≥99.9999%
• 符合SEMI国际标准

1. 纯度测定

• 差减法：总杂质含量≤0.1%（纯氮）
• 直接测定法：用于高纯度气体（>99.99%）

2. 氧含量检测

• 电化学法：检测限0.1ppm
• 激光光谱法：可达ppb级

3. 水含量（露点）

• 电容式露点仪：-80℃~+20℃
• 冷镜式露点仪：精度±0.1℃

1. 纯氮关键指标：

• 总烃含量（≤0.5ppm）
• 二氧化碳（≤10ppm）
• 颗粒物粒径（≤0.1μm）

2. 高纯氮扩展检测：

• 特定杂质（CO、CH4）≤0.1ppm
• 金属离子总量≤10ppb
• 放射性核素检测

3. 超纯氮特殊要求：

• 痕量硫化物（H2S、SO2）≤5ppt
• 重金属（Fe、Cu、Cr）≤0.1ppb
• 亚微米颗粒（≥0.01μm计数）

1. 气相色谱-氦离子化检测器（GC-PDHID）

• 检测限达ppb级
• 可同时测定H2、O2、CO等10种杂质

2. 电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）

• 金属元素检测下限0.01ppb
• 适用于半导体级氮气检测

3. 质子转移反应质谱（PTR-MS）

• 挥发性有机物检测灵敏度0.1ppt

4. 激光粒子计数器

• 0.01μm颗粒检测能力
• 符合ISO 14644-1洁净度标准

1. 采样系统处理

• 内壁钝化不锈钢管路
• 前置膜式过滤器（0.01μm）

2. 环境干扰控制

• 正压取样室（ISO 5级）
• 在线脱氧脱水预处理

3. 数据可靠性保障

• 三重四级杆质谱验证
• NIST标准气体定期校准

1. 电子行业（超纯氮）：

• 钠、钾离子≤0.05ppb
• 有机硅氧烷≤1ppt

2. 食品级氮气：

• 微生物限度≤1CFU/m³
• 油分含量≤0.01mg/m³

3. 医疗用气：

• 一氧化氮≤0.1ppm
• 环氧乙烷残留检测