GB/T 24577-2009热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物

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标准编号：GB/T 24577-2009热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物

标准状态：现行

标准简介：本标准规定了硅片表面的有机污染物的定性和定量方法,采用气质联用仪或磷选择检测器或者两者同时采用。

英文名称： Test methods for analyzing organic contaminants on silicon wafer surfaces by thermal desorption gas chromatography

中标分类： 冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合

ICS分类： 电气工程>>29.045半导体材料

采标情况： MOD SEMI MF 1982-1103

发布部门： 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会

发布日期： 2009-10-30

实施日期： 2010-06-01

首发日期： 2009-10-30

提出单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会