GB/T 13387-2009硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法

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标准编号：GB/T 13387-2009硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法

标准状态：现行

标准简介：本标准用于标称圆形晶片边缘平直部分长度小于等于65mm 的电学材料。本标准仅对硅片精度进行确认,预期精度不因材料而改变。本标准适用于仲裁测量,当规定的限度要求高于用尺子和肉眼检测能够获得的精度时,本标准也可用于常规验收测量。

英文名称： Test method for measuring flat length wafers of silicon and other electronic materials

替代情况： 替代GB/T 13387-1992

中标分类： 冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合

ICS分类： 电气工程>>29.045半导体材料

采标情况： SEMI MF671-0705 MOD

发布部门： 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会

发布日期： 2009-10-30

实施日期： 2010-06-01

首发日期： 1992-02-19

提出单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会