GB/T 14140-2009硅片直径测量方法

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标准编号：GB/T 14140-2009硅片直径测量方法

标准状态：现行

英文名称： Test method for measuring diameter of semiconductor wafer

替代情况： 替代GB/T 14140.1-1993;GB/T 14140.2-1993

中标分类： 冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料

ICS分类： 电气工程>>29.045半导体材料

发布部门： 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会

发布日期： 2009-11-30

实施日期： 2010-06-01

首发日期： 1993-02-06

提出单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)