标准编号：GB/T 4061-2009硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

标准状态：现行

标准简介：本标准规定了以三氯氢硅和四氯化硅为原料在还原炉内用氢气还原出的硅多晶棒的断面夹层化学腐蚀检验方法。本标准关于断面夹层的检验适用于以三氯氢硅和四氯化硅为原料,以细硅芯为发热体,在还原炉内用氢气还原沉积生长出来的硅多晶棒。

英文名称： Polycrystalline silicon-examination method-assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion

替代情况： 替代GB/T 4061-1983

中标分类： 冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合

ICS分类： 电气工程>>29.045半导体材料

发布部门： 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会

发布日期： 2009-10-30

实施日期： 2010-06-01

首发日期： 1983-12-20

提出单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会