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GB/T 14140-2009硅片直径测量方法

发布时间:2019-11-09 15:09:09 - 点击数:-TAG:硅片 - 关键词:GB/T 14140-2009硅片直径测量方法
中化所检测仪器

标准编号:GB/T 14140-2009硅片直径测量方法

标准状态:现行

英文名称: Test method for measuring diameter of semiconductor wafer

替代情况: 替代GB/T 14140.1-1993;GB/T 14140.2-1993

中标分类: 冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料

ICS分类: 电气工程>>29.045半导体材料

发布部门: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会

发布日期: 2009-11-30

实施日期: 2010-06-01

首发日期: 1993-02-06

提出单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)

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